高精度直线运动模组

　　主要用途：精密位移及定位、动态插补运动、高速划线运动、点位运动、高速搬运、频繁启停运动等。

　　应用行业：高等院校、科研院所、激光精细加工、半导体、消费电子、现代显示、太阳能光伏、精密自动化、轨道交通等行业设备。

　　○可接受非标定制

　　○负载、行程、速度、精度均 可定制

　 产品应用：

　　1.科瑞力摩直线电机在AOI系统中的应用

　　许多生产过程中，产品检测是确保最终产品功能和可靠性的重要步骤。科瑞力摩直线电机在自动光学检测（AOI）系统中有广泛应用，精度高和产能大。
例如，PCB检测系统中，电路板的线距大约为15微米，必须用高性能光学系统和运动系统保证最大可能的产能。在IC基体检测中，对芯片级或球栅阵列封装中的基体需控制的结构只有数微米的尺寸。而且，必须保证在整个表面上达到所需的精度，还不能影响性能和机器产能。

　　用户用科瑞力摩有铁芯直线电机安全地设计出非常灵活的机器，高性能地执行大量AOI检测任务。科瑞力摩电机的高推力密度使结构设计非常紧凑，最大限度利用工作区和提高整机产能。此外，质量和可靠性是科瑞力摩电机带给客户优势的重要特点，确保最终产品稳定，免维护和长使用寿命。

　　2.科瑞力摩产品在焊线机中的应用

　　科瑞力摩已应用于IC生产中的许多重要阶段。从最开始的光刻到最终的贴片机，科瑞力摩提供满足最高应用要求的直接驱动电机。焊线机是半导体设备生产中最重要的工序之一，科瑞力摩在帮助客户实现机器高性能过程中发挥了重大作用。

　　科瑞力摩直线电机和控制单元型号丰富，能完美满足高端机器的最高要求。一方面，采用科瑞力摩的无铁芯电机降低运动质量，提高运动轴的动态性能，最终实现当今市场上最快焊线速度。另一方面，有铁芯电机也用于最大限度提高推力密度，因此能在给定体积内实现最大焊区。科瑞力摩控制单元和运动控制技术中最先进功能帮助用户实现微米级的最高精度且不牺牲产品性能。

　　3.科瑞力摩技术在晶圆检测系统中的应用

　　科瑞力摩直线电机已大量应用于半导体业。如果精度等级需要达到亚微米级，位置稳定性需要纳米级，必须用最先进的直驱技术。 对这样的要求，任何部件缺陷都将影响整机性能。因此，科瑞力摩为用户提供全套运动系统平台，它具有最高质量的部件和最好的机械结构设计技术。在晶圆检测工具中，需要极高的精度和极高产能。
例如，右图中的滑台在刀具位置的加速度达到1g，动速度1m/s，精度1.5微米，重复精度200纳米。使用一体化的电机，控制单元，位置测量系统和机械设计，实现亚纳米级短行程定位运动。